| 发明名称 | 工件夹具及引线接合装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供即使减少氧化抑制气体的使用量，也能够充分地抑制接合区域的氧化的工件夹具及引线接合装置。本发明的工件夹具的特征在于，具备：形成氧化抑制气体的气氛的内部中空部(10)；设于所述内部中空部的下方，用于向所述内部中空部放入所述接合区域的下部开口部(11a)；设于所述内部中空部的上方，使所述接合区域露出的上部开口部(11)；覆盖所述内部中空部，且具有比所述上部开口部的开口面积广的腔室(13)；设于所述腔室，向所述腔室导入所述氧化抑制气体的气体导入口(14a)、(14b)；与所述腔室的下方连接，将从所述气体导入口导入的所述氧化抑制气体向所述工件的接合区域以外的部分喷射的孔(21)。 | ||
| 申请公布号 | CN101427359A | 申请公布日期 | 2009.05.06 |
| 申请号 | CN200780014042.9 | 申请日期 | 2007.04.10 |
| 申请人 | 株式会社海上 | 发明人 | 神藤力;吉野秀纪;久岛真美 |
| 分类号 | H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/60(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1. 一种工件夹具，其用于引线接合装置，所述工件夹具的特征在于，具备：内部中空部，其在对工件的接合区域进行接合时，形成氧化抑制气体的气氛；下部开口部，其设于所述内部中空部的下方，用于向所述内部中空部放入所述接合区域；上部开口部，其设于所述内部中空部的上方，使所述接合区域露出；腔室，其覆盖所述内部中空部，且具有比所述上部开口部的开口面积广的面积；气体导入口，其设于所述腔室，向所述腔室导入所述氧化抑制气体；孔，其与所述腔室的下方连接，将从所述气体导入口导入的所述氧化抑制气体向所述工件的接合区域以外的部分喷射。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||