二维流体振动超光滑表面抛光设备及其抛光方法

摘要

本发明公开二维流体振动超光滑表面抛光设备及其抛光方法，抛光设备由旋转驱动机构、角度调整机构、行星轮机构、超声波发生装置、水平方向振动发生器、抛光槽、工件装夹机构、抛光液循环装置构成；上述抛光槽在水平方向振动发生器作用下可以在水平方向上来回往复振动；上述抛光设备使用流体作为抛光工具，通过超声波发生装置使流体产生垂直方向的超声振动，与水平方向振动发生器所产生的水平振动构成二维流体振动；本发明可以低成本地实现平面的超光滑抛光。

主权项

1、一种二维流体振动超光滑表面抛光设备，其特征在于：该设备由旋转驱动机构、角度调整机构、行星轮机构、超声波发生装置、水平方向振动发生器、抛光槽、工件装夹机构、抛光液循环装置组成；上述角度调整机构由升降机构和支承板组成，上述旋转驱动机构通过传动轴与行星轮机构相连接，传动轴将整个行星轮机构与角度调整机构中的支承板进行连接；上述行星轮机构由系杆、行星轮、固定轮、行星轮轴组成，固定轮通过齿圈一侧的轮辐与角度调整机构中的支承板刚性连接，行星轮、系杆通过行星轮轴连接成一部件；上述行星轮机构中的行星轮下部装有工件装夹机构，上述水平方向振动发生器通过连杆与抛光槽连接，上述超声波发生装置由超声电源和浸入式超声波换能器构成，浸入式超声波换能器安装在抛光槽内部底板上，抛光槽通过管道与抛光液循环装置连接，并安装在基座上。