保持装置

摘要

本发明提供保持装置，其设有：放置玻璃基板(1)的保持本体(4)；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构(10)；在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构(10)。

主权项

1. 一种保持装置，其特征在于，具有：保持本体，放置玻璃基板，形成为具有开口部的框状形状，在上述开口部内呈同心圆状地布置用于支持上述玻璃基板的多个环状支持构件，而且通过直线支持构件将这些环状支持构件之间连接；升降机构，具有托起销机构，使上述托起销机构升降以便将上述玻璃基板从上述保持本体托起、并且下降到上述保持本体上，上述托起销机构直立设置了通过形成在上述各个环状支持构件之间的圆弧状开口部来支持放置在上述保持本体上的上述玻璃基板的至少3根托起销；以及回转机构，在通过上述升降机构使上述托起销上升而将上述玻璃基板从上述保持本体托起的状态下，使上述托起销机构回转任意角度。