倒装晶片流量传感器

摘要

倒装晶片流量传感器具有在衬底顶部上的电元件，例如温度传感器和加热器，并具有在衬底底部中形成的通道。该通道通过衬底材料的隔膜与衬底的顶部分隔开。流过通道的流体通过隔膜与加热器、上游温度传感器、下游温度传感器、结合垫片和引线结合隔开。由于隔膜是薄的，热量容易流过隔膜。同样地，流量传感器的电元件、结合垫片和引线与流过通道的流体物理隔离，但由于它们没有被热隔离，因此可以正确运行。

主权项

1. 一种系统，包括：具有衬底顶部和衬底底部的衬底；在衬底顶部上的上游温度传感器和在衬底顶部上的下游温度传感器，其中，下游温度传感器沿着流动方向比上游温度传感器更远；在衬底顶部上的加热元件，其被定位在上游温度传感器和下游温度传感器之间；和在衬底底部中的通道，其沿着流动方向并且在上游温度传感器、下游温度传感器和加热器的下面，以使得流体能够在流动方向流过该通道，其中气体和液体是流体。