半导体制造系统的重调度决策系统

摘要

一种半导体制造领域的半导体制造系统的重调度决策系统，本发明中，GUI模块负责与用户和其他模块进行交互；模糊神经网络决策模块获得半导体制造系统的生产状态和干扰信息数据，进行半导体制造系统的重调度决策处理，并将重调度决策处理的信息结果输出到模糊神经网络参数训练模块和GUI模块。模糊神经网络参数训练模块对模糊神经网络决策模块的模糊化层的中心值、宽度值参数和输出层的连接权值参数进行训练处理，本发明提高了半导体制造系统的重调度决策的准确性。

主权项

1、一种半导体制造系统的重调度决策系统，其特征在于，包括：GUI模块、模糊神经网络决策模块和模糊神经网络参数训练模块，其中：GUI模块为客户所使用的图形用户界面，负责用户与模糊神经网络决策模块和模糊神经网络参数训练模块等模块的人机交互操作，该模块接收人机交互过程中输入的重调度决策的历史数据、半导体制造系统生产状态和干扰信息，接收人机交互操作过程中输入的模糊神经网络参数训练模块和模糊神经网络决策模块的初始化参数信息，并显示各模块的中间结果和最后的决策输出结果；模糊神经网络决策模块一方面从GUI模块获得半导体制造系统的生产状态和干扰信息数据，另一方面从模糊神经网络参数训练模块获得模糊化层的中心值参数和宽度值参数信息、输出层的连接权值参数，进行半导体制造系统的重调度决策处理，并将重调度决策处理的信息结果输出到模糊神经网络参数训练模块和GUI模块；模糊神经网络参数训练模块一方面接收模糊神经网络决策模块的重调度决策处理的输出信息，一方面从GUI模块获取模糊神经网络训练初始化参数设定值信息和重调度决策的历史数据，对模糊神经网络决策模块的模糊化层的中心值、宽度值参数和输出层的连接权值参数进行训练处理，并将优化的模糊化层的中心值、宽度值参数和输出层的连接权值参数传输给模糊神经网络决策模块，并传输给GUI模块。