发明名称 METHOD OF FORMING CONTACT PLUG IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20090043136(A) 申请公布日期 2009.05.06
申请号 KR20070108828 申请日期 2007.10.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHO, WHEE WON;SHIM, JUNG MYOUNG
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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