用于附着衬底的设备

摘要

提供了一种衬底贴合设备和方法。该衬底贴合设备可以包括：接收第一衬底的第一支承件；接收与第一支承件相对的第二衬底的第二支承件；支承销，支承销位于固定到第一支承件的第一衬底的外部，该支承销可以连接到第一支承件；以及距离调节单元，距离调节单元可以向上或向下移动支承销，以调节第一支承件和第二支承件之间的距离。

主权项

1、一种衬底贴合设备，包括：第一支承件，第一支承件在其接收表面上接收第一衬底；与所述第一支承件相对设置以便在其间限定贴合空间的第二支承件，其中所述第二支承件在其接收表面上接收第二衬底；设置在所述第一支承件内并在所述第一衬底外部的支承销，其中所述支承销用于所述第一衬底相对于所述第二支承件的移动；以及距离调节器，所述距离调节器有选择地向上或向下移动所述支承销，以调节所述第一支承件和所述第二支承件之间的距离。