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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR SECONDARY ELECTRON EMISSION MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP1029340(B1) 申请公布日期 2009.05.06
申请号 EP19980957381 申请日期 1998.10.26
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 ADLER, DAVID, A.;WALKER, DAVID, J.;BABIAN, FRED;WOLFE, TRAVIS
分类号 G01N23/225;H01J37/26;G01Q30/02;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/285;H01L21/66 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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