对准方法、压印方法、对准设备和位置测量方法

摘要

在用于进行两个板状物之间的对准的对准方法中，将配置有第一对准标记的第一板状物和配置有第二对准标记的第二板状物相互相对放置。将第一区域和第二区域布置在通过图像拾取装置所观察的图像拾取区域中相互不重叠的位置处。从基本上与第一和第二板状物的平面内方向垂直的方向，通过图像拾取装置，拾取第一和第二对准标记的图像。通过使用第一对准标记相对于第一区域中的预定位置的偏移的第一信息和第二对准标记相对于第二区域中的预定位置的偏移的第二信息，来进行对准控制。

主权项

1. 一种对准方法，用于通过使用光源和图像拾取装置来进行两个板状物之间的对准，所述对准方法包括：将配置有第一对准标记的第一板状物和配置有第二对准标记的第二板状物相互相对放置；将第一区域和第二区域布置在通过图像拾取装置所观察的图像拾取区域中相互不重叠的位置处；从基本上与第一板状物和第二板状物的平面内方向垂直的方向，通过图像拾取装置拾取第一对准标记和第二对准标记的图像；通过使用第一对准标记相对于第一区域内的预定位置的偏移的第一信息以及第二对准标记相对于第二区域内的预定位置的偏移的第二信息，进行用于在所述平面内方向上使第一板状物的位置和第二板状物的位置相互对准的对准控制；以及通过在进行所述对准控制时减小第一板状物和第二板状物之间的间隙，来调整所述间隙，使得所述间隙为3μm或更小。