制备硅电容差压传感器用测试夹具

摘要

制备硅电容差压传感器用测试夹具，包括水平、定位、夹紧、气路、密封部分，其特征在于传感器定位机构：将左容室、六个中间容室、右容室依次置于左、右支撑座之间，七个V型支撑分别置于各容室之间，导杆穿过容室、V型支撑、左、右支撑座上的导杆孔并固定；压紧螺丝旋过右支撑座、套上压紧座构成夹紧机构；各容室的导气孔与底盘的导气孔方向一致，各容室的导气孔通过管路与底盘的导气槽连通形成导气通道，各容室均有O型密封圈。本发明的测试夹具可以一次性夹紧7只传感器，同时加压测试，省时省力，一致性好，效率高，检测质量有保证，能够满足批量生产的测试需要。

主权项

1、一种制备硅电容差压传感器用测试夹具，包括水平、定位、夹紧、气路、密封部分，其特征在于传感器定位机构：将左容室(1)、六个中间容室(3)、右容室(2)依次置于左、右支撑座(4)、(5)之间，七个V型支撑(6)分别置于各容室之间，导杆(11)穿过容室、V型支撑(6)、左、右支撑座(4)、(5)中的导杆孔并固定；压紧螺丝(7)旋过右支撑座(5)、套上压紧座(8)夹紧；各容室的导气孔与底盘的导气孔方向一致，各容室的导气孔与底盘的导气孔方向一致，各容室的导气孔通过管路与底盘的导气槽连通形成导气通道，各容室均有O型密封圈。