一种柔性视网膜芯片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性视网膜芯片。顶层和底层聚合物薄膜之间设置有规则分布的硅岛和通孔，硅岛内含有用于模拟生理性功能的功能单元，通孔与硅岛交错分布，硅岛与顶层聚合物薄膜之间设置有引线层；底层聚合物薄膜上的空隙处与顶层聚合物薄膜紧密粘合于一起；电极为功能单元的一部分、或者位于顶层聚合物薄膜或底层聚合物薄膜上。该芯片采用MEMS工艺流程化制作，实现了微功能单元和柔性基底的集成。本发明芯片表面布有密集的通孔，形成镂空格栅状，有利于芯片上下层组织间营养物和代谢物的交流，保证了生物功能的完整性，保证整个视网膜区域的良好代谢，更进一步增强了视网膜芯片的易弯曲性能，柔性更加高。本发明方法有利用高效率批量制作。

主权项

1、一种柔性视网膜芯片，其特征在于：顶层聚合物薄膜(31)和底层聚合物薄膜(32)之间设置有规则分布的硅岛(11)和通孔(33)，每个硅岛(11)内均含有用于模拟生理性功能的功能单元(20)，该功能单元(20)用于完成信号处理、控制、光电转换或电极刺激功能中的一种或几种；通孔(33)与硅岛(11)交错分布，硅岛(11)与顶层聚合物薄膜(31)之间设置有引线层(50)；底层聚合物薄膜(32)上的空隙处与顶层聚合物薄膜(31)紧密粘合于一起，所述空隙处是指除去硅岛(11)、通孔(33)和引线层(50)之外的位置；电极(25)为功能单元(20)的一部分、或者位于顶层聚合物薄膜(31)或底层聚合物薄膜(32)上。