| 发明名称 | 真空层压装置 | ||
| 摘要 | 具有近似三角形横截面的抽气结构(12)设置在底板(11)的两个相对侧，并在抽气结构的内边缘提供了相对于底板固定距离的缝隙。在抽气结构(12)中，通过把抽气结构密封固定在底板(11)上，并把端板(13)密封固定在抽气结构(12)的末端，形成了一个抽气空间。在使用这样的真空层压装置(10)的层压处理中，通过抽气结构(12)的缝隙的抽气口，并通过形成在抽空气结构(12)中的抽气空间，对处理空间进行抽空，该处理空间是通过用覆盖薄片(14)覆盖底板(11)和抽气结构(12L)而形成。当在底板(11)的另外两个外侧区域设置引导器时，在真空层压处理中提高了覆盖薄片(14)的几何惯性矩，并因此克服了空气泄露。 | ||
| 申请公布号 | CN100484758C | 申请公布日期 | 2009.05.06 |
| 申请号 | CN200410081033.X | 申请日期 | 2004.09.30 |
| 申请人 | 富士电机系统株式会社 | 发明人 | 横山康弘 |
| 分类号 | B32B37/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | B32B37/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1. 一种在层压材料上进行真空层压处理的装置，包括：用来在其上放置层压材料的底板(11)；沿着底板(11)的两个相对侧设置在底板(11)上的管形抽气结构(12)，每个抽气结构(12)具有三角形的横截面，其具有面向底板(11)的对应外围边缘的外侧面(12b)和面向相对的抽气结构(12)的内侧面(12c)，外侧面(12b)气密地固定在底板(11)上，内侧面(12c)限定了距底板(11)恒定距离的缝隙作为抽气口；气密地固定到抽气结构(12)末端的端板(13)；和覆盖薄片(14)，覆盖层压材料和抽气结构(12)以形成一个处理空间来进行真空层压处理。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||