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发明名称 Arm for wafer transportation for manufacturing semiconductor wafers
摘要
申请公布号 USD591924(S1) 申请公布日期 2009.05.05
申请号 US20080300495F 申请日期 2008.04.02
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ABE TAKAHIRO
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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