发明名称 SAMPLE DIMENSION MEASURING METHOD AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 IL156419(A) 申请公布日期 2009.05.04
申请号 IL20030156419 申请日期 2003.06.12
申请人 HITACHI, LTD. 发明人
分类号 G01B15/00;G01N23/225;H01J37/28 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
主权项
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