微图形之形成方法

摘要

一种提供于一处理目标基板之一主要表面上之抗蚀膜，其经图案化，以形成一抗蚀图案。在保留于该抗蚀图案之一空间部分中的抗蚀膜上实施一溶解化程序，以使得该抗蚀膜可容易地溶解于一用于移除其余抗蚀膜之液体中。接着，将该液体供应给其余抗蚀膜。