| 摘要 |
本发明之课题在于提供，能确实地检测出在透明或半透明的物体所产生的缺损或裂痕等的缺陷之边缘感测器。用以解决课题之手段为，由以预定的间隔排列复数个受光晶胞之线型感测器的输出，检测定位于单色平行光的光路中之透明体或半透明体的边缘位置之际，由自由空间侧搜寻线型感测器的输出，从在物体的边缘所产生的光量分布图案，将该光量降低至第1光量阈值之位置作为第1检测位置进行检测，并且，将在光量进一步降低后再增加至第2光量阈值之位置作为前述物体的第2检测位置进行检测。又，从当沿着边缘扫瞄检查部位时的第1及第2检测位置的变化，检测缺损或裂痕等的缺陷。 |
