摘要 |
一种照明光学系统,包含第一光学单元,反射积累器,一对扁平反射镜,孔径光阑,及第二光学单元。第一光学单元收集来自光源所发射出的光;反射积累器具有复数个圆柱状的反射表面,反射表面之所产生的列系以均一的方向所定向,且由使用来自第一光学单元所发射出的光而形成复数个线性光源;该对扁平反射镜系平行于所产生的列而设置,以便与存在于该处之间的复数个线性光源相互面向着;孔径光阑系垂直于所产生的列而设置,且具有开口,用以允许来自复数个线性光源所发射出的光通过该处;以及第二光学单元以一射束在另一射束的上面来积累发射自复数个线性光源之已通过该开口的光之射束于照明目标面之中。 |