照明光学装置、曝光装置及零件制造方法

摘要

本发明之照明光学装置系具备：照明光学系统，具有为了将照明光束导引至被照射面所配置的复数个反射镜；第一部分视野光圈，配置在照明光学系统的光路中，设定于应形成在被照射面之照明区域的第一外缘；以及第二部分视野光圈，配置在照明光学系统与被照射面之间，设定照明区域的第二外缘。照明光学系统系具备有将第一部分视野光圈的位置与第二部分视野光圈的位置实质上光学共轭的中继光学系统。