摘要 |
本发明之压印模具系将图案区域抵碰于被转印膜,藉由光照射,将被转印膜硬化而转印图案的压印模具(1),其特征为:具备有:具有设有图案区域(12)之第1主面、及与第1主面相对向的第2主面的基板(10);设在第1主面,沿着图案区域(12)之外周的第1遮光膜(20);及设在第2主面,具有包含与图案区域(12)相对向之区域的开口部(24),一部分与第1遮光膜(20)相对向的第2遮光膜(22),在垂直于基板(10)的剖面中,将被转印膜硬化之光相对于第2主面的最大入射角系小于将与开口部(24)相接之侧之第2遮光膜(22)的一端、及距离图案区域(12)为最远之侧之第1遮光膜(20)的一端加以连结的线相对于第2主面之垂线所成角度。 |