以电镀及电镀组成物制造铑接触结构

摘要

本发明揭示一种铑接触结构，制造此铑接触结构的制程包含取得有一介电层于其上的一基材，此介电层具有将放置铑接触于其中的凹槽；沉积一种子层于此凹槽中及此介电层上；以及从含铑盐、酸及降应力剂的浴池中电镀以沉积铑；然后选择性回火此结构。