半导体装置之堆叠电容及其制造方法

摘要

一种半导体装置之堆叠结构，系包含形成于半导体基板上及/或上方之一第一电容以及形成于第一电容上及/或上方之第二电容。第一电容与第二电容分别具有一多层层积结构，层积结构包含一下电极、一电容介电层以及一上电极。下电极与上电极中至少两个电极系互相垂直排列，以具有相同的宽度及/或表面积。