使用介电带体之厚膜成层电阻装置

摘要

本发明提供一种在由一电源施加一电力之情形下用以对一标靶提供一电阻负载的电阻装置，该电阻装置可透过一对端子线与该电源电性连接。该电阻装置包括一厚膜材料，且该厚膜材料界定出至少一层带体。该电阻装置可以是，例如，一加热器或一负载电阻器，且亦可包括一其上设置有一层介电带体之基板、一设置在该层介电带体之电阻层、及一设置在该电阻层上之保护层。