基板保持装置及基板解放方法

摘要

【课题】本发明提供一种可充分执行机台与基板之接触面的静电去除之基板保持装置。【解决手段】将装载于机台2之基板w，透过从设置于机台表面之吸附沟3的吸引而作真空吸附保持，在经过既定的处理之后，解除真空吸附，同时从设置于机台表面侧之喷出口7将离子化气体对基板w的背面喷吹而进行静电去除。