接触式测量装置

摘要

本发明公开一种接触式测量装置，其包括测量端子及用于驱动该测量端子之至少一驱动轴，该测量端子在驱动轴驱动下可沿一方向移动，且该测量端子接触被测量物表面以进行测量，该驱动轴具有锥度，且其尺寸沿着测量端子被驱动之方向逐渐增大，该驱动轴由作用在该驱动轴外侧壁上之气体驱动。