| 摘要 |
本发明涉及一种光罩护膜残胶清洗装置，特别系指一种当护膜框体除卸后，可迅速去除光罩上残胶环带之残胶清洗装置，其系于一基体上形成有一对应光罩残胶环带之导流环槽，基体并于导流环槽内、外缘上设有一隔离单元，该隔离单元系于导流环槽内、外缘分设有一内密封环与一外密封环，内、外密封环可支撑光罩，且形成紧密贴合，以隔离光罩之残胶环带与其他区域，再者基体上形成有与导流环槽连通之注入导孔与排出导孔，透过上述的设计，当光罩定位于基体上时，可利用隔离单元区隔光罩之残胶环带与其他区域，藉以利用注入导孔与排出导孔，使清洗溶剂或气体可于导流环槽内流动，进而可迅速、且有效的去除残胶，避色伤及光罩图形及造成二次污染。 |
