应用于触控面板之透明导电元件

摘要

本发明揭露一种应用于一触控面板之透明导电元件。根据本发明之透明导电元件包含一透明的基材以及一氧化锌薄膜。该基材具有一上表面。该氧化锌薄膜系藉由一原子层沈积制程及/或一电浆增强原子层沈积制程(或一电浆辅助原子层沈积制程)形成于该透明的基材之该上表面上。