游离磨粒线锯用水溶性加工油剂、磨浆及切断加工方法

摘要

本发明之课题系提供：使用游离磨粒线锯，从铸锭切取矽晶时，当进行切断时或切断后，并无部分晶片从切片台掉落之「破裂」之问题，而且可得到切断精度优异之游离磨粒线锯用水溶性加工油剂、含有该油剂与游离磨粒之磨浆、使用该磨浆之脆性材料之切断加工方法。本发明之解决手段系提供一种游离磨粒线锯用水溶性加工油剂，其系含有(A)丙二醇、(B)二乙二醇、(C)二羧酸盐、(D)烷二醇之环氧烷加成物以及(E)水者，该游离磨粒线锯用水溶性加工油剂中，相对于(A)丙二醇之调配量，(B)二乙二醇之调配量为1.50至1.80倍；本发明并提供含有该油剂及磨粒之切断加工用磨浆、及使用该磨浆切断脆性材料之脆性材料之加工方法。