以奈米／微米球作为周期性结构之发光二极体基板

摘要

本发明为有关一种以奈米/微米球作为周期性结构之发光二极体基板，系利用奈米/微米球作为模版，或利用该奈米/微米球模版进行反转录制程，再进行蚀刻获得不同程度之粗化发光二极体基板，包括有一基板，一包含有p型磊晶层、发光层与n型磊晶层之磊晶结构层，一电流扩散层，以及一微米/奈米粗化结构层；由于制程无须黄光程序即可获得单层且大面积周期性结构，且可提升发光二极体出光效率。