导电粒子压痕之检测装置及方法

摘要

一种导电粒子压痕之检测装置，用以检测导电粒子之压痕状态，包括第一基板；多个第一金属垫位于第一基板之讯号传输区；至少一个测试垫位于第一基板之非讯号传输区；第二基板；多个第二金属垫，位于第二基板且对应第一金属垫；测试条，位于第二基板且对应至少一个测试垫；以及异方性导电胶，接合第一基板与第二基板。在此亦揭露一种导电粒子压痕状态之检测方法。