石英玻璃坩埚之制造方法及制造装置

摘要

本发明系一种石英玻璃坩埚之制造方法及制造装置，其中，为了提供在电弧融熔中，异物的混入少，且电弧安定之石英玻璃坩埚之制造方法及制造装置，具有从电弧电极的侧方朝向铸模之融熔空间，喷出空气之手段，和排出加热炉内之空气的手段，在融熔中，于融熔空间进行压入供气，将融熔空间的气压作为较融熔空间外部为高，理想为于融熔空间与周围之间，形成100Pa以上之气压差而融熔之石英玻璃坩埚之制造方法及其制造装置。