回收钌与钌合金沈积靶材的方法及由回收钌与钌系合金粉末所制作的靶材 METHODOLOGY FOR RECYCLING RU AND RU-ALLOY DEPOSITION TARGETS ＆

摘要

一种回收钌(Ru)与钌(Ru)系合金的方法，包含下列步骤：提供钌(Ru)或钌(Ru)系合金的一固体；分割该固体，以形成一颗粒材料；从该颗粒材料移除包含Fe的污染物；降低该颗粒材料的尺寸，以形成一粉末材料；从该粉末材料移除包含Fe的污染物；降低该粉末材料的氧含量至一预定的水准以下，以形成一纯化的粉末材料；以及从该纯化的粉末材料移除大于一预定尺寸的粒子。该纯化的粉末材料可以用来形成沉积源，例如，溅镀靶材。