层积构造及其之制造方法

摘要

〔课题〕本发明提供一种层积构造及其之制造方法，其不增加氧化物透明导电膜和Al合金膜之间的接触电阻，直接连接Al合金，布线电阻变小，在显影液等电解质液中不易发生电池腐蚀（galvanic corrosion）。〔解决手段〕由氧化物透明导电膜和Al合金膜直接连接而成的制造层积构造的方法中，具备有：在基板上形成前述氧化物透明导电膜的第1工程、在该氧化物透明导电膜上形成含有离子化倾向比铝小的合金成分的Al合金膜的第2工程、在由铝和前述合金成分构成的金属间化合物的析出温度以上，对前述Al合金膜进行加热的第3工程。