表面轮廓检测装置及其检测方法

摘要

本发明涉及一种表面轮廓检测装置，该表面轮廓检测装置包括一用于提供一平行光的光源组件，一设置于光源组件之出射光之光路上之空间光调制器，一设置于空间光调制器之出射光之光路上之分光镜，一设置于分光镜之出射光之光路上之波前感测器以及一与所述波前感测器及空间光调制器电气连接之控制处理器。上述之表面轮廓检测装置在空间光调制器、分光镜以及波前感测器之配合作用下，能够不与待测物接触而测得待测物之表面轮廓，避免了对待测物表面造成损伤。本发明还涉及上述表面轮廓检测装置之检测方法