叠层装置、叠层装置用加热板以及叠层装置用加热板之制造方法

摘要

课题：使得在叠层制程之际将加热板温度容易且确实地控制在目标温度。解决手段：本发明之叠层装置，其特征在于：该叠层装置具有根据按压部件隔开的上处理室和下处理室，在该下处理室所设的加热板122上配置被加工物，使得上述下处理室为真空并向上述上处理室导入大气，以上述加热板122和上述按压部件来夹压由上述加热板122加热的上述被加工物进行叠层加工；上述加热板122具有在背面设有收容槽63之加热板本体61、和被埋设在上述收容槽63之双头式电热管62；使上述收容槽63或上述双头式电热管62的至少一方变形，来使得上述双头式电热管62的外周面与上述收容槽63的内周面面接触。