微影系统、夹紧方法及晶圆台

摘要

本发明是有关于一种微影系统，例如是用于投射一影像或一影像图案至一靶材（1）上，该靶材例如是一晶圆，该靶材是藉由一靶材台（2）、存在用于将该靶材夹紧于该靶材台上之夹紧机构的作用，被包含于该微影系统中。该夹紧机构包含一层固定相液体（3），该固定相液体是包含于靶材与靶材台之间的厚度，用以提供液体（C）之材料，以及提供该靶材（1）和靶材台（2）之个别不同接触表面（A、B）的材料，一压力降（P#sB!cap#eB!）将会产生。