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Un aparato de nanolitografía (32, 100) para aplicar al menos un compuesto de formación de patrones (26) a un sustrato, aparato que comprende: una matriz (56, 74) de sondas accionables selectivamente, la mencionada matriz de sondas accionables (38, 54, 72, 104) estando dispuesta en paralelo, donde cada una de las mencionadas sondas accionables selectivamente comprende: un voladizo (50); una punta (20) en un extremo del mencionado voladizo, para aplicar al mencionado sustrato uno de los mencionados al menos un compuesto de formación de patrones, la punta (20) estando dispuesta para ser cubierta con el mencionado compuesto de formación de patrones y para aplicar el mencionado compuesto de formación de patrones (26) al mencionado sustrato; y un accionador (66, 68, 76) acoplado operativamente el mencionado voladizo, el mencionado accionador estando controlado por una unidad de control auxiliar (48) conectada, adaptada para aplicar corriente o tensión al objeto de mover el mencionado voladizo para que mueva la mencionada punta separándola del mencionado sustrato, para controlar el estado del contacto entre la punta (20) y el sustrato, teniendo como resultado una suspensión del proceso de formación de patrones, caracterizado porque el mencionado accionador (66, 68, 76) es un accionador térmico o un accionador electrostático (76).
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