真空压力控制系统

摘要

一种真空压力控制系统，包括真空腔体、可由真空腔体中吸取气体之真空帮浦、真空开启/关闭阀、用以控制真空开启/关闭阀之真空压力控制装置以及伺服阀，真空开启/关闭阀用以控制真空腔体内之真空压力，且藉着驱动由一空气供应源作为动力源所提供之空气，以改变一开启程度，而伺服阀用以控制真空开启/关闭阀之开启程度。