OPTICAL DEVICE WITH IMPROVED IMAGING BEHAVIOUR AND METHOD THEREFOR

摘要

Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung (10) mit verbessertem Abbildungsverhalten sowie ein Verfahren zum Verbessern des Abbildungsverhaltens der optischen Vorrichtung (10). Die optische Vorrichtung (10) weist eine Mehrzahl an optischen Elementen (28a-d) entlang einer Lichtausbreitungsrichtung der optischen Vorrichtung (10) zum Abbilden einer Struktur (20) in einer Objektebene (O) der optischen Vorrichtung (10) auf ein Substrat (22) in einer Bildebene (B) der optischen Vorrichtung (10) auf. Die optische Vorrichtung (10) weist im Kaltzustand zumindest einen ersten Abbildungsfehler auf, der einen zumindest zweiten, während des Betriebs durch Erwärmen zumindest eines der optischen Elemente (28a-d) verursachten Abbildungsfehler der optischen Vorrichtung (10) zumindest teilweise kompensiert.