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发明名称
Showerhead electrode
摘要
<p>A showerhead electrode includes inner and outer steps at an outer periphery thereof, the outer step cooperating with a clamp ring which mechanically attaches the electrode to a backing plate.</p>
申请公布号
JP3150053(U)
申请公布日期
2009.04.30
申请号
JP20080008949U
申请日期
2008.12.19
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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