| 发明名称 |
BEARBEITUNGS-/REINIGUNGSVERFAHREN MIT HILFE VON HYDROXYD-IONEN IN ULTRAREINEM WASSER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69940611(D1) |
申请公布日期 |
2009.04.30 |
| 申请号 |
DE1999640611 |
申请日期 |
1999.12.07 |
| 申请人 |
MORI, YUZO |
发明人 |
MORI, YUZO;ISHIKAWA, TOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/3063;B08B3/02;C25D11/32;C25F1/00;C25F3/00;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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