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发明名称 Verfahren zum Betreiben einer eine Rastersondenmikroskopeinrichtung aufweisenden Messanordnung und Messanordnung
摘要
申请公布号 DE112006003969(A5) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 DE20061103969T 申请日期 2006.09.19
申请人 JPK INSTRUMENTS AG 发明人 POOLE, KATHRYN;KNEBEL, DETLEF;JAEHNKE, TORSTEN
分类号 G01N13/16;G12B21/02 主分类号 G01N13/16
代理机构 代理人
主权项
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