Polymerizable Ester Having Sulfonamide Structure, Polymer, Resist Composition and Patterning Process,申请号KR20040042841-传众专利搜索

发明名称	Polymerizable Ester Having Sulfonamide Structure, Polymer, Resist Composition and Patterning Process
摘要
申请公布号	KR100895767(B1)	申请公布日期	2009.04.30
申请号	KR20040042841	申请日期	2004.06.11
申请人		发明人
分类号	G03F7/039;G03C1/00;G03F7/027;G03F7/028;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039	主分类号	G03F7/039
代理机构		代理人
主权项
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