发明名称
摘要
申请公布号 JP4261806(B2) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 JP20020038525 申请日期 2002.02.15
申请人 发明人
分类号 H01J37/06;G09G1/04;H01J37/065;H01J37/24;H01J37/248;H01L21/027;H05B39/04 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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