METHOD AND DEVICE FOR RECOVERING A MIXTURE OF A THIXOTROPIC DISPERSANT AND ABRASIVE GRAINS AS ABRASIVES

摘要

Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Aufbereiten einer Mischung aus einem Dispersionsmedium sowie abrasiv wirkenden Körnern als Schleifmitteln. Die Mischung wird zur spanabtragenden Bearbeitung, insbesondere zur spanabtragenden Trennung von Werkstücken, vorzugsweise Halbleiterkristallen, eingesetzt. Erfindungsgemäß kommt ein thixotropes sowie im Wesentlichen wasserbasiertes Dispersionsmedium zum Einsatz.