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发明名称
摘要
申请公布号	JP4260312(B2)	申请公布日期	2009.04.30
申请号	JP19990320839	申请日期	1999.11.11
申请人		发明人
分类号	G01R33/02;H01L43/00	主分类号	G01R33/02
代理机构		代理人
主权项
地址

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