| 发明名称 |
Isolationsschichtmaterial für integrierte Schaltkreise in Damascene-Architektur, bestehend aus Molekülen die nur auf der Oberfläche mit Atomen besetzt sind, wie z.B. Fullerenen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50311305(D1) |
申请公布日期 |
2009.04.30 |
| 申请号 |
DE2003511305 |
申请日期 |
2003.11.07 |
| 申请人 |
LEIBNIZ-INSTITUT FUER FESTKOERPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V. |
发明人 |
HERMANN, HELMUT;TAESCHNER, CHRISTINE;ZSCHECH, EHRENFRIED |
| 分类号 |
H01L23/522;C08G61/02;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/532 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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