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发明名称
摘要
申请公布号 JP4260402(B2) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 JP20020019456 申请日期 2002.01.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/74;H01L29/747;H01L29/861 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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