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发明名称 Verfahren und Vorrichtung für die hochautomatisierte Herstellung von Dünnfilmen
摘要
申请公布号 DE19752322(B4) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 DE1997152322 申请日期 1997.11.26
申请人 NATIONAL RESEARCH COUNCIL CANADA 发明人 SULLIVAN, BRIAN T.;DOBROWOLSKI, J.A.;CLARKE, GLENN A.;AKIYAMA, TAKAYUKI;ITO, TAKASHI
分类号 C23C14/54;G02B1/10;B32B9/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/56 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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