发明名称
摘要
申请公布号 JP4260404(B2) 申请公布日期 2009.04.30
申请号 JP20020030877 申请日期 2002.02.07
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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