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Eine Elektronikindustrieanlage weist eine Produktionseinheit (200) zur Herstellung eines Halbleiterprodukts und eine Tieftemperatur-Luftzerlegungseinheit (100) auf. Der Tieftemperatur-Luftzerlegungseinheit werden ein Stickstoff-Produktstrom (110), ein Reinsauerstoff-Produktstrom (120) und ein Unreinsauerstoff-Produktstrom (130) entnommen. Die drei Produktiströme (110, 120, 130) werden der Produktionseinheit zugeleitet.
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